- 概述
- 技术特点
- 应用领域
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- 产品特色
FD-Mars是一款高分辨、多功能、自动化为一体的X射线衍射仪，其测试范围覆盖了粉末、薄膜、纳米材料等各类材料，广泛应用于材料科学、能源、半导体、医药等领域。
| 大功率光源(9kW可选) | 模块化与自动化设计 | 超高分辨率 | ||
1. Cu靶：标配光源，波长=1.54，适用于绝大部分X射线衍射实验和应用场景 2. Mo靶：波长=0.71，主要针对轻元素(如L、B)材料和超高分辨(如半导体应变层)的衍射实验 | 1.系统具有模组自动识别功能，可随时了解系统配置状态 2.光路自动调整，可有效降低实验难度，提高实验效率 3.不同光路之间可自动切换，大大提高实验的自动化程度 | 高精度测角仪，配合光学编码器的全闭环控制，可实现的定位精度。 X射线多层膜反射镜(Goebel镜)作为X射线光束修饰元件，可有效改善光束平行性，并实现对特征光谱中Kβ组分的精准滤除。 Ge220双晶单色器，用于X射线光束修饰，可进一步提高光束单色性，是超高分辨率衍射的必备光学元件。 |
半导体 | 新能源 | 金属与合金 | 高分子材料 |
关键技术：高分辨衍射（HRXRD）、X射线 掠入射（GIXRD）、X射线反射率（XRR） 具体应用场景：二维薄膜材料厚度密度粗糙 度、半导体异质结的晶体质量与缺陷 | 关键技术：高分辨衍射（HRXRD）、原位X射 线衍射（In-situ XRD） 具体应用场景： 电极材料结构表征、钙钛矿薄 膜结晶度测定、硅基异 质结界面缺陷分析 | 关键技术：残余应力（RS）、织构 （Texture） 具体应用场景：合金的轧制织构对力 学性能的影响、马氏体相变动力学 | 关键技术：粉末衍射（PXRD）、织构 （Texture） 具体应用场景：结晶度与取向性分析、 原位拉伸/压缩测试 |
制药 | 纳米材料 | 地质与环境 | 纳米材料 |
关键技术:粉末衍射(PXRD)、、毛细管衍射具体应用场景:药物晶型筛选与质量控制、 催化剂表征 | 关键技术:小角/广角X射线散射(SAXS/WAXS) 具体应用场景: 纳米颗粒的尺寸分布与聚集状态、碳纳米管/石墨烯的层间间距与取向性 | 关键技术:粉末衍射(PXRD)、原位 (射线衍射(In-situ XRD) 具体应用场景:矿物组成与结构分析、 环境污染物检测 | 关键技术:高分辨衍射(HRXRD)、原 位X射线行射(In-situ XRD) 具体应用场景:低维材料与量子材料、 原位/工况表征 |
提升科研效率（自动化 高通量，缩短研发周期） |
自动化操作：自动校准功能、模块识别功能、一键式流程，可以有效降低实验难度，提高实验效率，非常适合需要快速选代的研发场景 大面积光子计数探测器：可同时采集多角度数据，结合 AI辅助分析，快速完成物相识别或应力分布计算，加速实验-反馈循环 |
节约运行成本（低维护设计 模块化扩展 自动化设计，降低全生命周期成本） |
低维护与高寿命：标配的陶瓷密封X射线管，使用寿命长，日常无需维护成本 模块化设计与扩展性：用户无需为不同需求购置多台设备，通过升级附件，即可扩展新的功能，降低初期投资和后续升级成本 节约人力成本：自动化操作减少对专业操作员的依赖，新手经过短期培训即可独立完成复杂测试，有效降低人力资源投入 |
提升数据的质量与可靠性（高灵敏度 稳定性，确保数据可靠性，支持高精度工艺控制） |
高精度与低噪声：高精密光学元件，对X射线光束进行准直和单色，配合多能量阈值可选的光子计数探测器，可以有效降低噪声信号，提高实验的分辨率， 确保弱信号样品的精准检测，提高实验数据的可靠性 稳定性与重复性：高精度机械加工，配合光学编码器形成的全闭环控制，保证了测角仪的运动精度、稳定性、长期可靠性，可以满足工业质量控制(如半导体晶圆检测)对可重复性的严苛要求 |
易用性（智能化操作降低技术门槛，远程协作提升资源利用率） |
| 灵活性（模块化设计，兼容性强，扩展性强，满足跨领域需求，适应技术趋势迭代） |
项目 | 规格参数 | 项目 | 规格参数 |
X射线光源 | 功率 3kW 9kW（可选） | 探测器 | 二维光子计数器探测器(2D) |
| 靶材 Cu | 样品台 | 标配：Z轴可调样品台 | |
| 焦斑大小（其他规格可定制）：0.4x1.2mm | 五轴样品台(可选)：X，Y，Z，Phi，Chi | ||
| 测角仪 | θ/θ垂直测角仪 | 自动进样器（可定做） | |
| 角度定位：步进电机 +光学编码器 | 光学元件 | 自动化调整 |
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